當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓切割是芯片分離的關(guān)鍵工序，其精度與效率直接影響芯片良率與性能。隨著芯片向小型化、高密度集成發(fā)展，晶圓厚度不斷減?。?0μm以下），傳統(tǒng)切割技術(shù)因機械應(yīng)力與熱損傷問題面臨巨大挑戰(zhàn)。超薄晶圓隱切技術(shù)應(yīng)運而生，以其非接觸式、...
HerzTS主動隔振臺介紹：在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù)，基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù)，原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn))，振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動隔振臺特點：1、在全部的6個自由度范圍...