GrazingMaster600平面度測(cè)量?jī)x專業(yè)為微米級(jí)平面度平面零件制造商提供納米級(jí)的表面平整度測(cè)量功能。采用非接觸式光學(xué)干涉技術(shù)快速測(cè)量零件的整個(gè)表面，可以幫助用戶快速評(píng)價(jià)從光滑到粗糙平面的平面度誤差，尤其適合非鏡面類平面表面的納米級(jí)平面度精密測(cè)量。同時(shí)，系統(tǒng)集成白光干涉三維測(cè)量顯微鏡，可以同步實(shí)現(xiàn)精密平面表面微觀粗糙度和微結(jié)構(gòu)的三維測(cè)量。

檢測(cè)原理

掠入射干涉儀利用掠入射光線與表面相互作用，通過(guò)測(cè)量反射光的干涉圖案來(lái)獲取表面的形狀信息。這種方法特別適用于非鏡面精密平面的平面度測(cè)量，因?yàn)槁尤肷涔饩€能夠更好地覆蓋表面的微小變化，在非鏡面平面上實(shí)現(xiàn)干涉條紋對(duì)比度。結(jié)合高穩(wěn)定性相移干涉測(cè)量實(shí)現(xiàn)非鏡面平面樣品的納米級(jí)分辨率平面度測(cè)量。

GrazingMaster集成精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，少量幾次拼接可以完成300-600mm口徑樣品的全口徑測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

平面度測(cè)量分辨率達(dá)到10nm量級(jí)，解決三坐標(biāo)測(cè)量分辨率難以滿足微米級(jí)平面度精密平面測(cè)量要求的難題

非接觸測(cè)量：避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)量?jī)x對(duì)精密表面的損傷風(fēng)險(xiǎn)

全口徑采樣：高密度成像式采樣可以解決點(diǎn)測(cè)式和線掃式測(cè)量遺漏局部平面度異常的風(fēng)險(xiǎn)

大口徑測(cè)量能力：通過(guò)少數(shù)幾次拼接即可完成300mm-600mm口徑的全口徑測(cè)量，測(cè)量效率高，同時(shí)精度更加可靠

白光干涉顯微模組具備納米級(jí)縱向分辨率，覆蓋光滑到粗糙各種表面的粗糙度精確測(cè)量，同時(shí)可以測(cè)量平面上微凸點(diǎn)和微孔等微結(jié)構(gòu)的三維測(cè)量

一臺(tái)設(shè)備滿足精密平面零件的關(guān)鍵宏觀輪廓精度（平面度）和微觀輪廓精度（粗糙度，臺(tái)階高度和孔深）測(cè)量需求，測(cè)量功能全面，效率高

適用對(duì)象

各類非鏡面和鏡面精密平面

?CMP化學(xué)機(jī)械拋光頭

?晶圓/玻璃基板研磨盤

?半導(dǎo)體精密零部件

?半導(dǎo)體真空吸盤 （微孔陶瓷，金屬）

?精密軸承和發(fā)動(dòng)機(jī)缸體端面